簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Chao-Chang Chen".eadvisor (精準) and ckeyword.raw="搖臂式修整"


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    搖臂式修整於拋光墊之平坦度與接觸面積分析化學機械拋光影響研究
    • 機械工程系 /111/ 碩士
    • 研究生: 廖啟宏 指導教授: 陳炤彰
    • 本研究為探討搖臂式修整後拋光墊接觸面積對於CMP的影響,首先建立量測接觸面積之方法,接著探討修整與接觸面積之間的關係,利用拋光墊的粗糙度、承載面積比與接觸面積進行相關性分析,因為粗糙度與承載面積比經…
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    • 全文公開日期 2026/08/29 (校內網路)
    • 全文公開日期 2026/08/29 (校外網路)
    • 全文公開日期 2026/08/29 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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